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集成電路純水設(shè)備

文章出處: http://ims77.com 人氣: 發(fā)布時(shí)間:2017-09-01

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集成電路純水設(shè)備概述
集成電路電路板生產(chǎn)過程中,F(xiàn)PC/PCB濕流程絕大部分工藝都是相似的。各個(gè)工藝環(huán)節(jié)對(duì)純水的要求集成電路用純水設(shè)備也是大同小異。我們?cè)诩呻娐飞a(chǎn)過程中常用到的電鍍銅,錫,鎳金;化學(xué)鍍鎳金;PTH/黑孔;表面處理蝕刻等生產(chǎn)過程都需要用到不同要求的純水。因?yàn)榫€路板生產(chǎn)過程中使用的藥水不同,生產(chǎn)工藝流程的差異,對(duì)純水的品質(zhì)要求也不一樣。關(guān)鍵的指標(biāo)是:電導(dǎo)率(電阻率),總硅,pH值,顆粒度。線路板、電路板用純水因?yàn)楸旧砉に嚵鞒痰牟煌瑢?duì)純水制造的工藝流程也不同。按照目前絕大部分集成電路線路板廠的使用情況來看,大概分為以下三種類型:預(yù)處理加離子交換純水系統(tǒng);反滲透加離子交換系統(tǒng);高效反滲透加EDI超純水設(shè)備。

集成電路用純水典型工藝流程 
線路板純水的工藝大致分成以下幾種:
采用離子交換方式
流程如下:自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點(diǎn)

采用兩級(jí)反滲透方式
流程如下:自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級(jí)反滲透主機(jī)(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點(diǎn)

采用高效反滲透加EDI方式
流程如下(新工藝性價(jià)比高):自來水→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中EDI工作原理間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點(diǎn)

標(biāo)準(zhǔn)參考 
顯像管、液晶顯示器用純水水質(zhì)(經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù))
集成電路用純水水質(zhì)
國(guó)家電子級(jí)純水標(biāo)準(zhǔn)

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